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摘要：本发明公开了一种利用角度法拉第测量离子束流垂直方向整体角度的方法，这种方法通过同时选择7个相同的角度法拉第杯子，利用其栅格上的电流探测器采集终端靶室内的束流，并将得到的流强数据保存，利用发明的算法程序加以拟合，计算出较为准确的垂直角度。本方法可以测量离子束流的垂直方向角度，同时通过采集的数据图像可以直观地、定性地反映离子束流是否稳定，以及垂直方向发散程度；且一次采用7个杯子对束流进行采集，相比单一杯子多次测量，大大节省了测量和计算时间，提高了终端测量效率。本发明涉及离子注入装置及拟合算法，隶属于半导体制造领域。
主权项：1.一种多个杯子测量离子束流垂直方向角度的方法，其特征在于：利用7个矩形法拉第杯2测量离子束流垂直方向整体角度的方法，这种方法通过选择7个矩形法拉第杯2采集终端靶室内的束流，并将得到的流强数据保存，利用算法程序加以拟合，计算出较为准确的垂直角度；其中，调整角度法拉第1与水平方向的夹角，并相应记录矩形法拉第杯2的栅格结构3接收的流强，从而得到角度法拉第1与水平方向的夹角、栅格结构3接收的流强之间的关系曲线，其中，横坐标为所述夹角、纵坐标为所述流强，将关系曲线上最低点所对应的横坐标作为离子束流垂直方向角度；其中，计算垂直角度的物理模型，假设接收到的流强与照射面积成正比，则有如下关系：；其中，L1、L2和h分别代表矩形法拉第杯2的栅格结构的长、宽、高，θ表示角度法拉第1与水平方向的夹角，θ0表示束流整体角度，D0表示束流全部通过时的流强，则可知当角度法拉第1转到与束流整体角度平行时，束流几乎全部通过，栅格接收到的流强最小，软件程序读取采集得到的数据，并简化物理模型，利用函数拟合计算得到流强最小时的角度，即为离子束流垂直方向整体角度。
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百度查询： 北京烁科中科信电子装备有限公司 一种多个杯子测量离子束流垂直角度的方法
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