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摘要:本申请涉及体声波谐振器领域,具体涉及一种边缘结构和滤波器。边缘结构,包括:边缘结构的底电极和顶电极之间设置有边缘凸起结构;所述边缘凸起结构包括沿远离衬底的方向层叠设置的第一凸起层和第二凸起层;其中,所述第一凸起层的材料为高介电常数的材料:其中,所述第二凸起层的材料为高声阻的材料。如此,第一凸起层应位于靠近底电极的一侧,第二凸起层应位于靠近顶电极一侧,这样由于有高声阻抗的金属材料存在,可以实现较高的声阻抗不匹配,提升Rp。同时由于第一凸起层的存在,可以使主谐振区以外第二功能区和第三功能区的电场强度降低,抑制次谐振,使得spurious以下曲线较为平滑。
主权项:1.一种边缘结构,其特征在于,包括:边缘结构的底电极和顶电极之间设置有边缘凸起结构;所述边缘凸起结构包括沿远离衬底的方向层叠设置的第一凸起层和第二凸起层;其中,所述第一凸起层的材料为高介电常数的材料:其中,所述第二凸起层的材料为高声阻的材料。
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百度查询: 诺思(天津)微系统有限责任公司 边缘结构和滤波器
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