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摘要：本发明公开了一种超高真空腔体电信号馈通件及制造方法，涉及馈通连接件技术领域，包括若干圆柱形陶瓷管，所述陶瓷管中间同轴设有贯穿腔体；所述贯穿腔体内设有金属柱；所述陶瓷管外侧固定有第一安装座，所述第一安装座通过密封圈与法兰盘连接；通过调整法兰盘的尺寸可以使馈通件适应各种不同尺寸的仪器的需求，减少仪器的研发周期，提高仪器研发效率。
主权项：1.一种超高真空腔体电信号馈通件，其特征在于，包括若干圆柱形陶瓷管，所述陶瓷管中间同轴设有贯穿腔体；所述贯穿腔体内设有金属柱；所述陶瓷管外侧固定有第一安装座，所述第一安装座通过密封圈与法兰盘连接。
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百度查询： 杭州之芯半导体有限公司 一种超高真空腔体电信号馈通件及制造方法
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