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一种太阳能电池用单晶硅石英坩埚喷涂装置及其方法 

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摘要:本发明属于石英表面处理技术领域,尤其是涉及一种太阳能电池用单晶硅石英坩埚喷涂装置及其方法,包括底座和安装在底座端面的隔热放置容器;盖板设置在所述隔热放置容器的上方,所述隔热放置容器的底部固定安装有扇形旋转座;旋转驱动单元设置在所述盖板的上方,并用于驱动盖板转动;升降驱动单元安装在所述底座的端面,并通过所述旋转驱动单元固定连接;同步喷涂单元设置在所述扇形旋转座的内部,且同步喷涂单元的喷涂端贯穿扇形旋转座的侧壁。本发明能够在对石英坩埚内壁喷涂的过程中,防止涂料出现下流淋挂的现象,且能够对逸散的涂料进行吸附净化,同时,能够对涂料层的喷涂质量进行快速检测并自动标记缺陷区域。

主权项:1.一种太阳能电池用单晶硅石英坩埚喷涂装置,包括底座(1)和安装在底座(1)端面的隔热放置容器(2),其特征在于,还包括:盖板(3),设置在所述隔热放置容器(2)的上方,所述隔热放置容器(2)的底部固定安装有扇形旋转座(4);旋转驱动单元(5),设置在所述盖板(3)的上方,并用于驱动盖板(3)转动;升降驱动单元(6),安装在所述底座(1)的端面,并通过所述旋转驱动单元(5)固定连接;同步喷涂单元(7),设置在所述扇形旋转座(4)的内部,且同步喷涂单元(7)的喷涂端贯穿扇形旋转座(4)的侧壁;加热供气单元(8),设置在所述扇形旋转座(4)的内部,且加热供气单元(8)沿逆时针方向设置在同步喷涂单元(7)的一侧;吸附净化单元(9),设置在所述扇形旋转座(4)的内部,并与加热供气单元(8)的吸气端相连通;缺陷检测单元(10),设置在所述隔热放置容器(2)的内壁;控制器(11),安装在所述底座(1)的端面,且控制器(11)根据缺陷检测单元(10)输出的电信号向计算机输出模拟数字信号。

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