买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

摘要：本申请涉及坩埚的技术领域，具体公开了一种石英坩埚及其制备方法。本申请提供的石英坩埚的体积密度≥1.72gcm3，显气孔率≤13.9%，耐压强度≥52MPa。上述石英坩埚是在惰性气氛下通过烧制工艺得到的：烧制工艺包括以下步骤：第一起弧熔融、第二起弧熔融以及稳定烧制。利用上述制备方法获得的石英坩埚具有较低的显气孔率，较高的体积密度，且石英坩埚的耐压强度性能优异。

主权项：1.一种石英坩埚，其特征在于，所述石英坩埚的体积密度≥2.08gcm3，显气孔率≤10.5%，耐压强度≥68MPa；所述石英坩埚包括以下重量份的组分：8-15份内层料、65-75份中层料和20-28份外层料；所述内层料包括重量比为（78-85）：（30-45）：（1-3）的70-100μm石英砂、100-300μm石英砂和300-350μm石英砂；所述中层料包括重量比为（70-78）：（16-22）：（24-30）的70-100μm石英砂、100-300μm石英砂和300-350μm石英砂；所述外层料包括重量比为（70-78）：（10-16）：（10-16）的70-100μm石英砂、100-300μm石英砂和300-350μm石英砂；所述石英坩埚的制备方法具体为：所述石英坩埚是通过烧制工艺得到的，所述烧制工艺包括以下步骤：将石英砂原料在转速为85-95rpm的条件下，进行旋转成型，得到石英坩埚坯；在惰性气氛、转速为65-75rpm的条件下，使石英坩埚坯连续经历以下工序：第一起弧熔融：在0-（25-35）s时间段内，控制第一真空度为0.01-0.02Mpa、起弧电流为从零匀速上升至第一起弧电流2000-2800A；第二起弧熔融：在（25-35）-（150-210）s时间段内，控制第二真空度为0.09-0.1Mpa、起弧电流为从所述第一起弧电流匀速上升至第二起弧电流4600-5000A；稳定烧制：维持所述第二真空度和所述第二起弧电流不变，进行稳定烧制15-18min；所述烧制工艺是使用电弧熔制炉实施的，所述电弧熔制炉包括熔制模具、石墨电极、遮热板、吹气装置、压缩空气喷头、排气管道；所述稳定烧制过程中，每隔2-3min进行除氧化层，具体步骤为：将所述石墨电极移出所述熔制模具，利用所述吹气装置除去所述石墨电极上的氧化层后，将所述石墨电极下移到所述熔制模具内原来位置，再进行所述稳定烧制；除氧化层过程控制在3min之内；在所述第一起弧熔融前，所述遮热板设置成位于所述熔制模具上方130-150m处；所述稳定烧制过程中，在每隔2-3min进行除氧化层的过程中，需要调节所述遮热板的位置，具体步骤为：将所述遮热板上移至所述熔制模具上方160-180m处，再将所述石墨电极移出所述熔制模具，除氧化层操作结束后，将所述遮热板与所述石墨电极下移到原来位置，再进行所述稳定烧制；调节过程控制在3min之内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏新毅阳高新材料有限公司 一种石英坩埚及其制备方法