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离子传输系统和方法 

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摘要:本发明提供了离子传输系统和方法,所述离子传输系统包括电源和真空提供装置,所述真空提供装置包括第一真空腔和抽气泵;所述离子传输系统还包括设置在第一真空腔内的第一传输装置,所述第一传输装置包括:多组电极,每组电极包括呈轴对称的多个电极,多个电极围出圆形区域,沿着多组电极的排列方向,各组电极围出圆形区域的直径逐渐变小,各组电极中的电极沿着轴向依次排列;所述电源用于为各组电极中的多个电极施加电压,使得离子在各组电极围出区域内加速、聚焦前进。本发明具有离子聚焦效果好、消除加工和装配误差带来的电场偏差等优点。

主权项:1.离子传输系统,所述离子传输系统包括电源和真空提供装置,所述真空提供装置包括第一真空腔和抽气泵;其特征在于,所述离子传输系统还包括设置在第一真空腔内的第一传输装置,所述第一传输装置包括:多组电极,每组电极包括呈轴对称的多个电极,多个电极围出圆形区域,沿着多组电极的排列方向,各组电极围出圆形区域的直径逐渐变小,各组电极中的电极沿着轴向依次排列;所述电源用于为各组电极中的多个电极施加电压,使得离子在各组电极围出区域内加速、聚焦前进;所述电源为每组电极中呈轴对称的一对电极施加直流修正电压,用于修正电极的加工和装配误差导致的径向电场偏差。

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