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摘要：本实用新型提供了一种长晶车间自动测温系统，涉及碳化硅晶体生长领域，本长晶车间自动测温系统通过在多个长晶炉的上方设置水平移动装置，通过水平移动装置驱动红外测温仪移动至每个长晶炉的测温窗口的正上方进行测温，从而可以实现长晶车间内多个长晶炉的自动测温，不但省时省力，提高测温效率，而且可以有效避免长晶炉的振动，保证炉内碳化硅晶体的生长质量。
主权项：1.一种长晶车间自动测温系统，用于长晶车间，所述长晶车间的地面放置有多个长晶炉600，每个所述长晶炉600的顶部均设置有测温窗口，其特征在于，包括：水平移动装置100，所述水平移动装置100设置于所述多个长晶炉600的上方；红外测温仪300，所述红外测温仪300设置于所述水平移动装置100，用于在所述水平移动装置100的驱动下依次移动至所述多个长晶炉600的测温窗口的正上方进行测温。
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百度查询： 通威微电子有限公司 长晶车间自动测温系统
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