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摘要：本发明提供一种失效定位方法以及失效分析方法，失效定位方法包括：分析诊断路径，确定测试样品的失效路径；将测试样品研磨至失效路径的上层，并对测试样品进行EBAC测试；基于EBAC测试的结果，得到测试样品的失效位置；或者，在EBAC测试无法定位失效位置时，进入定位分析步骤；定位分析步骤包括：对测试样品进行热点定位；基于热点定位的结果，得到测试样品的失效位置；或者，在热点定位无法定位失效位置时，将测试样品处理至前段器件层，确定失效位置。如此配置，通过增设定位分析步骤，使得在EBAC无法定位失效位置时，也能够快速准确定位失效位置，提升失效定位的工作效率和成功率，降低进行失效定位所耗费的时间，进而降低分析成本。
主权项：1.一种失效定位方法，其特征在于，包括：分析诊断路径，确定测试样品存在的失效路径；将所述测试样品研磨至所述失效路径的最上层，并对所述测试样品进行EBAC测试；基于EBAC测试的结果，得到所述测试样品的失效位置；或者，在EBAC测试无法定位所述失效位置时，进入定位分析步骤；所述定位分析步骤包括：获取合适的测试条件，对所述测试样品进行热点定位；基于热点定位的结果，得到所述测试样品的所述失效位置；或者，在热点定位无法定位所述失效位置时，将所述测试样品处理至前段器件层，以确定所述失效位置。
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 失效定位方法以及失效分析方法
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