龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本申请实施例提供了一种晶圆磨削检测方法、加工方法、装置、设备。其中，晶圆磨削检测方法包括如下步骤：确定步骤，确定晶圆磨削设备的磨轮是否与工作台相接触；获取步骤，在确定磨轮与工作台相接触后，实时获取晶圆磨削设备的主轴位置和工作台高度；异常步骤，根据主轴位置和工作台高度确定工作台磨削中是否发生异常。本申请实施例将工作台高度的变化和主轴电机位置的变化相结合来判断磨削过程是否异常，通过同时监测工作台高度和主轴电机位置两个参数，可以更准确地识别出磨削过程中可能出现的问题，减少了误判的可能性，提高了检测的准确性和可靠性。另外，准确的异常检测可以及时提醒操作人员采取措施，从而降低了对工作台和磨轮的损坏风险。
主权项：1.一种晶圆磨削检测方法，用于晶圆磨削设备，其特征在于，包括如下步骤：确定步骤，确定所述晶圆磨削设备的磨轮与工作台是否相接触；获取步骤，在确定所述磨轮与所述工作台相接触后，实时获取所述晶圆磨削设备的主轴位置和工作台高度；异常步骤，根据所述主轴位置和所述工作台高度确定所述工作台磨削中是否发生异常。
权利要求：
百度查询： 华海清科股份有限公司 晶圆磨削检测方法、加工方法、装置、设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号