龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：长飞光纤光缆股份有限公司;湖北光谷实验室
申请日：2023-12-13
公开（公告）日：2025-01-14
公开（公告）号：CN222349127U
专利技术分类：...采用微波放电[2006.01]
专利摘要：本实用新型涉及一种PCVD工艺均匀沉积装置，包括有同轴对应安设在床身两侧的旋转密封夹头，两侧的旋转密封夹头与同步旋转驱动装置相连，在两个旋转密封夹头之间设置有微波谐振腔，两个旋转密封夹头包括进气旋转密封夹头和排气旋转密封夹头，进气旋转密封夹头通过进气管与原料气源相连通，所述的排气旋转密封夹头通过排气管与真空泵抽气系统相连通，其特征在于所述的排气管旁接一个辅助排气管，所述的辅助排气管通过串接电控阀与辅助真空泵抽气装置相连通。本实用新型通过增加间断的抽气能有效改善PCVD工艺沉积的轴向均匀性，从而提高沉积芯棒的有效棒长和沉积衬管质量。
专利权项：1.一种PCVD工艺均匀沉积装置，包括有同轴对应安设在床身两侧的旋转密封夹头，两侧的旋转密封夹头与同步旋转驱动装置相连，在两个旋转密封夹头之间设置有微波谐振腔，微波谐振腔与轴向往复移动装置相连接，微波谐振腔安设在保温炉中，所述的两个旋转密封夹头包括进气旋转密封夹头和排气旋转密封夹头，所述的进气旋转密封夹头通过进气管与原料气源相连通，所述的排气旋转密封夹头通过排气管与真空泵抽气系统相连通，其特征在于所述的排气管旁接一个辅助排气管，所述的辅助排气管通过串接电控阀与辅助真空泵抽气装置相连通。
百度查询： 长飞光纤光缆股份有限公司 湖北光谷实验室 一种PCVD工艺均匀沉积装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号