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申请/专利权人：华南理工大学
申请日：2024-10-24
公开（公告）日：2025-01-17
公开（公告）号：CN119320930A
专利技术分类：...利用磁场的，例如磁控溅射[2006.01]
专利摘要：一种耐热冲击氧化铝涂层的制备方法，包括以下步骤：将经过气体离子源轰击清洗后的无氧铜基体送入第一镀膜工艺腔室内，采用双靶材通过脉冲直流磁控溅射方式进行同步溅射，以在无氧铜基体表面形成从纯镍层过渡到纯铬层的镍、铬复合梯度过渡层；将表面沉积镍、铬复合梯度过渡层的无氧铜基体传输至冷却室内，进行静置冷却至预设温度；将冷却后的表面沉积镍、铬复合梯度过渡层的无氧铜基体传输至第二镀膜工艺腔室内，采用中频磁控溅射方式进行溅射，以在镍、铬复合梯度过渡层的表面沉积形成氧化铝涂层。本发明通过在无氧铜基体的表面沉积由纯镍层过渡到纯铬层的复合梯度过渡层，减小了无氧铜基体与氧化铝涂层之间热膨胀系数的变化梯度，降低了在温度升降过程中二者在交界面处的热应力累积，从而提升氧化铝涂层的耐热冲击性能。
专利权项：1.一种耐热冲击氧化铝涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S11，将经过气体离子源轰击清洗后的无氧铜基体送入第一镀膜工艺腔室内，采用双靶材通过脉冲直流磁控溅射方式进行同步溅射，以在无氧铜基体表面形成从纯镍层过渡到纯铬层的镍、铬复合梯度过渡层，其中，随着沉积过程的进行，逐渐降低镍靶材的溅射电压，同步逐渐增加铬靶材的溅射电压；步骤S12，将表面沉积镍、铬复合梯度过渡层的无氧铜基体传输至冷却室内，进行静置冷却至预设温度；步骤S13，将冷却后的表面沉积镍、铬复合梯度过渡层的无氧铜基体传输至第二镀膜工艺腔室内，采用中频磁控溅射方式进行溅射，以在镍、铬复合梯度过渡层的表面沉积形成氧化铝涂层。
百度查询： 华南理工大学 一种耐热冲击氧化铝涂层的制备方法
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