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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日：2023-07-12
公开（公告）日：2025-01-17
公开（公告）号：CN119318916A
专利技术分类：.用静止颗粒，例如，在固定床内[2006.01]
专利摘要：本发明公开了一种方便拆装附加的甲酸蒸汽催化体装置，包括：催化器，所述催化器包括蜂窝形气体通道，所述蜂窝形气体通道内表面涂覆催化剂层；催化器载体，用于承载和密封所述催化器，且所述催化器载体上设有与甲酸气氛炉气路连接的接口。本发明与附带催化装置的甲酸气氛炉相比，可在不额外加装、改装气路的前提下，通过附加组件的方式，在甲酸气氛炉上附加气氛原位活化功能，可大幅降低机器购置和改造成本。
专利权项：1.一种方便拆装附加的甲酸蒸汽催化体装置，其特征在于：包括：催化器1，所述催化器1包括蜂窝形气体通道，所述蜂窝形气体通道内表面涂覆催化剂层；催化器载体2，用于承载和密封所述催化器1，且所述催化器载体2上设有与甲酸气氛炉气路连接的接口。
百度查询： 中国科学院微电子研究所 一种方便拆装附加的甲酸蒸汽催化体装置
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