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申请/专利权人：南昌中微半导体设备有限公司;中微半导体设备(上海)股份有限公司
申请日：2024-12-31
公开（公告）日：2025-01-28
公开（公告）号：CN119374033A
专利技术分类：.用于气体或蒸气的[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种气体流量控制阀、气体输送装置及气体供应方法，所述气体流量控制阀，包含：第一阀体和第二阀体，第一阀体、第二阀体相对设置且互相平行，二者之间形成反应气体的气流通道；定义第一阀体、第二阀体之间的间距为气体流量控制阀的阀体开度；驱动装置，其为压电陶瓷材质，用于驱动第二阀体朝向或者远离第一阀体运动，通过调节施加在驱动装置的电压实现调节阀体开度；位置传感器，用于检测阀体开度。本发明的优点在于：能够准确检测阀体开度，提高了气体流量控制阀的控制精度和响应速度，可以实现1分多路，准确地按照目标气体流量比例向反应腔内的不同区域输送相应流量的反应气体。
专利权项：1.一种气体流量控制阀，其特征在于，包含：第一阀体和第二阀体，所述第一阀体、第二阀体相对设置且互相平行，二者之间形成反应气体的气流通道；定义所述第一阀体、第二阀体之间的间距为所述气体流量控制阀的阀体开度；驱动装置，其为压电陶瓷材质，用于驱动所述第二阀体朝向或者远离所述第一阀体运动；通过调节施加在所述驱动装置的电压实现调节所述阀体开度；位置传感器，用于检测所述阀体开度；所述位置传感器包括电容检测装置；所述电容检测装置通过检测形成于所述第一阀体与所述第二阀体之间的等效电容的电容值，实现检测所述阀体开度。
百度查询： 南昌中微半导体设备有限公司 中微半导体设备(上海)股份有限公司 一种气体流量控制阀、气体输送装置及气体供应方法
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