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申请/专利权人：中微半导体设备(上海)股份有限公司
申请日：2024-12-30
公开（公告）日：2025-01-28
公开（公告）号：CN119375415A
专利技术分类：.利用燃烧（G01N25/20优先）[2006.01]
专利摘要：本发明公开了一种用于气柜可燃性测试的系统及方法，气柜内部包括若干管线、阀门及电气连接点，该系统至少包括：示踪气体容器，其通过示踪气体管路与一气体模拟释放点连通，用于在气体模拟释放点释放示踪气体；气体模拟释放点位于气柜内部的阀门与管线的连接处；若干侦测器，每个侦测器通过一取样管与一监测点连通；监测点至少设于气柜内部的电气连接点；控制器，其与侦测器信号连接；若干侦测器用于采集若干监测点的示踪气体浓度值并发送给控制器；控制器用于对监测点处示踪气体浓度值与预设示踪气体浓度值进行比较，以判断气柜的可燃性测试是否通过。本发明大幅提升了气柜可燃性测试的测试准确性及测试效率，且环境友好，具有广泛的应用前景。
专利权项：1.一种用于气柜可燃性测试的系统，所述气柜内部包括若干管线、若干阀门及若干电气连接点，其特征在于，至少包括：示踪气体容器，其通过示踪气体管路与一气体模拟释放点连通，用于在所述气体模拟释放点释放示踪气体；所述气体模拟释放点位于所述气柜内部的阀门与管线的连接处；若干侦测器，每个侦测器通过一取样管与一监测点连通；若干监测点至少设于所述气柜内部的所述若干电气连接点；控制器，所述控制器与所述若干侦测器信号连接；其中，所述若干侦测器用于采集所述若干监测点的示踪气体浓度值并发送给所述控制器；所述控制器用于对所述监测点处示踪气体浓度值与预设示踪气体浓度值进行比较，以判断所述气柜的可燃性测试是否通过。
百度查询： 中微半导体设备(上海)股份有限公司 一种用于气柜可燃性测试的系统及方法
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