恭喜雅安宇焜芯材材料科技有限公司乔焜获国家专利权
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龙图腾网恭喜雅安宇焜芯材材料科技有限公司申请的专利一种气源纯度检测装置及氮化镓生产系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119574813B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510133504.9,技术领域涉及:G01N33/00;该发明授权一种气源纯度检测装置及氮化镓生产系统是由乔焜;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气源纯度检测装置及氮化镓生产系统在说明书摘要公布了:本发明涉及气体纯度检测技术领域,具体涉及一种气源纯度检测装置及氮化镓生产系统。气源纯度检测装置包括主管体、支持件、控制环、运动臂和浓度传感器。主管体用于接入气源管路。控制环可转动地配合于支持件并由驱动器驱动,且控制环与外壁面之间转动密封。控制环的内环壁开设有集气槽。支持件开设有安装盲孔,运动臂可滑动地配合于安装盲孔且滑动密封。运动臂与安装盲孔的孔底壁之间抵接有第一弹性件。浓度传感器设于运动臂的外侧壁。当控制环转动时,集气槽能够周期性与主管体连通,且还能够周期性地运动至运动臂处。其能够实现对气源纯度的更长时间的持续性精确检测,在进行纯度检测的同时实现自动校准。
本发明授权一种气源纯度检测装置及氮化镓生产系统在权利要求书中公布了:1.一种气源纯度检测装置,其特征在于,包括:主管体、支持件、控制环、运动臂和浓度传感器;所述支持件具有呈圆柱面的外壁面,所述外壁面开设有用于容置所述主管体的容置槽;所述主管体的外侧壁开设有凹槽,所述凹槽与所述主管体的管腔连通,所述凹槽的槽底壁呈弧形,且所述凹槽的槽底壁的弧度与所述外壁面的弧度相同;当所述主管体安装于所述容置槽当中时,所述凹槽的槽底壁与所述外壁面共同构成完整的圆柱面;所述主管体用于接入气源管路;所述控制环套设于所述支持件的所述外壁面,所述控制环与所述外壁面之间贴合;沿所述外壁面的周向,所述控制环可转动地配合于所述支持件并由驱动器驱动,且所述控制环与所述外壁面之间转动密封;所述控制环的内环壁开设有集气槽;所述支持件的所述外壁面还开设有安装盲孔,所述运动臂可滑动地配合于所述安装盲孔当中,且所述运动臂与所述安装盲孔的孔壁之间滑动密封;所述运动臂与所述安装盲孔的孔底壁之间抵接有第一弹性件;所述运动臂的外侧壁开设有与所述浓度传感器相适配的安装槽,所述浓度传感器安装于所述安装槽当中,所述浓度传感器与所述运动臂的外侧壁相齐平;当所述控制环相对所述支持件转动时,所述集气槽能够周期性地通过所述凹槽与所述主管体连通,且所述集气槽还能够周期性地运动至所述运动臂处,以使所述运动臂带动所述浓度传感器周期式地进入和退出所述集气槽;沿所述控制环的周向,所述集气槽的两侧槽壁均为倾斜壁,以用于引导所述运动臂进入和退出所述集气槽。
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