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申请/专利权人：TDK株式会社
申请日：2003-09-01
公开（公告）日：2004-04-07
公开（公告）号：CN1487563A
专利技术分类：
专利摘要：一种电子器件基片结构，包括：基片2，被形成于基片2上作为面心立方结构的111定向膜或作为六方最密结构的0001定向膜的金属薄膜4，以及具有被形成于金属薄膜4上作为纤锌矿晶体结构的0001定向的纤锌矿型薄膜5，其中：两种薄膜的每个都是多晶膜，其包含在所述平面中的晶体定向的方向不同的至少两种晶粒；当金属薄膜4是111定向膜时，纤锌矿型薄膜5的平面中的轴平行于金属薄膜4的平面中的轴；并且当金属薄膜4是0001定向膜时，纤锌矿型薄膜5的平面中的轴平行于金属薄膜4的平面中的轴。
专利权项：1.一种电子器件基片结构，包括：至少具有由Si100单晶制成的表面的基片；具有面心立方结构或六方最密结构并被形成于所述基片上的金属薄膜，所述金属薄膜是从一组中选择的，该组由具有与所述基片表面平行而定向的111平面的面心立方结构的111定向膜和具有与所述基片表面平行而定向的0001平面的六方最密结构的0001定向膜组成；以及具有纤锌矿晶体结构并被形成于所述金属薄膜上的纤锌矿型薄膜，所述纤锌矿型薄膜是具有与所述基片表面平行而定向的0001平面的0001定向膜；其中所述金属薄膜和所述纤锌矿型薄膜的每个都是多晶膜，其包含在所述平面中的晶体定向的方向不同的至少两种晶粒；当所述金属薄膜是111定向膜时，所述纤锌矿型薄膜外延地生长于所述金属薄膜上以使所述纤锌矿型薄膜的平面中的轴平行于所述金属薄膜的平面中的轴；并且当所述金属薄膜是0001定向膜时，纤锌矿型薄膜外延地生长于所述金属薄膜上以使所述纤锌矿型薄膜的平面中的轴平行于所述金属薄膜的平面中的轴。
百度查询： TDK株式会社 电子器件基片结构和电子器件
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