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申请/专利权人:日立化成工业株式会社
申请日:2010-01-29
公开(公告)日:2015-04-01
公开(公告)号:CN102308236B
专利技术分类:...基本光学元件,例如,传导光的光路[2006.01]
专利摘要:本发明提供一种在满足光元件与光波导的高精度且稳定的光连接的同时可以简便制作的光波导模块。本发明的光波导模块包括:被包覆层包围的、在一端侧具有由锥形面构成的镜部的光波导;在半导体基板的第1面具有凹部的光元件;和以与上述镜部在俯视下重叠的方式设置在上述包覆层上的凸形状部件,在该光波导模块中,使上述凸形状部件嵌合在上述光元件的凹部。
专利权项:一种光波导模块,其特征在于,具备:被包覆层包围的、在一端侧具有由锥形面构成的镜部的光波导;具有第1面和第2面、且在所述第2面上具有从所述第2面向所述第1面凹陷的凹部的半导体基板;与所述半导体基板的所述凹部对应地设于所述半导体基板的所述第1面一侧的光元件;和以与所述镜部在俯视下重叠的方式设置在所述包覆层上的凸形状部件,所述凸形状部件嵌合在所述半导体基板的凹部。
百度查询: 日立化成工业株式会社 光波导和光波导模块
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