买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：约翰内斯·海德汉博士有限公司

申请日：2014-06-20

公开（公告）日：2014-12-24

公开（公告）号：CN104236451A

专利技术分类：.干涉仪[2022.01]

专利摘要：本发明涉及一种干涉仪，其带有光源、分束器、测量反射器、参考后向反射器、探测器组件以及两个透明的平板。分束器将由光源发射的第一光束分开成至少一个测量光束和至少一个参考光束，通过其展开第一分开平面。测量光束在测量臂中而参考光束在参考臂中传播直至在第一结合平面中的结合地点处再结合。第一结合平面平行于第一分开平面定向。测量光束至少两次垂直地射到测量反射器上。参考光束至少一次射到参考后向反射器上。通过探测器组件可从测量和参考光束中关于测量对象的位置检测至少一个第一距离信号。透明的第一平板和透明的第二平板在光路中彼此平行地布置在光源与探测器组件之间。参考后向反射器构造在第一平板中而分束器布置在第二平板上。

专利权项： 一种干涉仪，其带有：‑ 光源10;LQ，‑ 分束器23;PBS，其将由所述光源10;LQ发射的第一光束分开成至少一个测量光束M;M1,M2和至少一个参考光束R，通过其展开第一分开平面AE1，并且所述测量光束M;M1,M2在测量臂中而所述参考光束R在参考臂中传播直至在第一结合平面VE1中的结合地点V处再结合，其中，所述第一结合平面VE1平行于所述第一分开平面AE1定向，‑ 测量反射器30;130;230;MR，其布置在所述测量臂中并且与能够沿着测量方向y运动的测量对象31;131;231相连接，其中，所述测量光束M;M1,M2至少两次垂直地射到所述测量反射器30;130;230;MR上，‑ 参考后向反射器RR2;RR，其布置在所述参考臂中，其中，所述参考光束R至少一次射到所述参考后向反射器RR2;RR上，‑ 探测器组件40;DET，通过其能够从在所述结合地点V处叠加的干涉的测量和参考光束M;M1,M2;R中关于所述测量对象31;131;231的位置检测至少一个第一距离信号，‑ 透明的第一平板21;121;221;P1和透明的第二平板22;122;222;P2，其在光路中彼此平行地布置在所述光源10;LQ与所述探测器组件40;DET之间，其中，所述测量反射器30;130;230;MR能够相对这两个平板21;121;221;P1;22;221;222;P2沿着所述测量方向y运动，以及‑ 所述参考后向反射器RR2;RR构造在所述第一平板21;121;221;P1中而‑ 所述分束器23;PBS布置在所述第二平板22;122;222;P2上。

百度查询： 约翰内斯·海德汉博士有限公司 干涉仪