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申请/专利权人：精工爱普生株式会社
申请日：2023-02-22
公开（公告）日：2023-08-29
公开（公告）号：CN116659644A
专利技术分类：
专利摘要：本发明提供即使施加了温度变化等的外部干扰也能够抑制解调精度降低的激光干涉仪。该激光干涉仪具备：激光光源，射出激光；光调制器，具备通过驱动信号进行驱动的振动元件，并使调制信号与激光重叠；受光元件，接收包含通过在对象物反射而重叠的采样信号的激光及包含调制信号的激光，并输出受光信号；运算部，根据基准信号对受光信号进行运算；以及信号生成部，输出驱动信号及基准信号，运算部具有：预处理部，根据基准信号输出包含频率调制成分的预处理信号；解调处理部，根据基准信号从预处理信号解调采样信号；以及校正处理部，根据与振动元件的驱动相对应地输出的输出信号输出校正信号，信号生成部根据校正信号对驱动信号及基准信号进行校正。
专利权项：1.一种激光干涉仪，其特征在于，具备：激光光源，射出激光；光调制器，具备通过驱动信号进行驱动的振动元件，并使用所述振动元件使调制信号与所述激光重叠；受光元件，接收包含通过在对象物反射而重叠的采样信号的所述激光及包含所述调制信号的所述激光，并输出受光信号；运算部，根据基准信号对所述受光信号进行运算；以及信号生成部，输出所述驱动信号及所述基准信号，所述运算部具有：预处理部，根据所述基准信号进行从所述受光信号提取频率调制成分的预处理，并输出包含所述频率调制成分的预处理信号；解调处理部，根据所述基准信号从所述预处理信号解调所述采样信号；以及校正处理部，根据与所述振动元件的驱动相对应地输出的输出信号输出校正信号，所述信号生成部根据所述校正信号对所述驱动信号及所述基准信号进行校正。
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