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申请/专利权人：精工爱普生株式会社
申请日：2022-08-30
公开（公告）日：2023-03-03
公开（公告）号：CN115727934A
专利技术分类：
专利摘要：提供一种激光干涉仪，能抑制返回光针对激光光源的入射，能抑制根据受光信号对源自测定对象物的采样信号进行解调的精度的下降。激光干涉计具备：激光光源；准直部，生成准直光；光调制器，将准直光调制为频率不同的参照光；以及受光元件，接受物体光和参照光，输出受光信号，将准直光的光轴设为第一光轴，当生成返回光时，将返回光的光轴设为第二光轴，将生成准直光的位置设为基准位置，当将基准位置中的第一光轴与第二光轴的偏离宽度设为Δy，将准直部的有效直径设为κ，将准直光的光径设为R，将基准位置与光调制器的距离设为L，将准直光的波长设为λ时，满足下述式A
专利权项：1.一种激光干涉仪，其特征在于，具备：激光光源，射出激光；准直部，将所述激光平行化，生成准直光；光调制器，将所述准直光调制为频率不同的参照光；以及受光元件，接受所述准直光由测定对象物反射而生成的物体光以及所述参照光，输出受光信号，将所述准直光的光轴设为第一光轴，当生成所述参照光或所述物体光去往所述激光光源的返回光时，将所述返回光的光轴设为第二光轴，将在所述准直部中生成所述准直光的位置设为基准位置，当将所述基准位置中的所述第一光轴与所述第二光轴的偏离宽度设为Δy，将所述准直部的有效直径设为κ，将所述准直部中的所述准直光的光径设为R，将所述基准位置与所述光调制器的距离设为L，将所述准直光的波长设为λ时，所述第一光轴与所述第二光轴以满足下述式A的方式偏离
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