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申请/专利权人：精工爱普生株式会社
申请日：2021-08-24
公开（公告）日：2023-10-10
公开（公告）号：CN114111999B
专利技术分类：
专利摘要：本申请提供一种小型且采样信号的解调精度较高的激光干涉仪。该激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光为所述第一激光被对象物反射而生成的包含采样信号的光；光路长度可变部，其使所述第三激光传播的光路的光路长度发生变化。
专利权项：1.一种激光干涉仪，其特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光为所述第一激光被对象物反射而生成的包含采样信号的光；光路长度可变部，其使所述第三激光传播的光路的光路长度发生变化；解调电路，其包括供所述受光信号通过的第一信号路径以及第二信号路径，并根据从所述第一信号路径通过的所述受光信号以及从所述第二信号路径通过的所述受光信号来对所述采样信号进行解调，所述解调电路具有：第一记录部，其在利用所述光路长度可变部而使所述光路长度发生了变化时，对从所述第一信号路径通过的所述受光信号的最大振幅进行检测，并记录为第一记录最大振幅；第二记录部，其在利用所述光路长度可变部而使所述光路长度发生了变化时，对从所述第二信号路径通过的所述受光信号的最大振幅进行检测，并记录为第二记录最大振幅；第一振幅调整部，其基于所述第一记录最大振幅，对从所述第一信号路径通过的所述受光信号的最大振幅进行调整；第二振幅调整部，其基于所述第二记录最大振幅，对从所述第二信号路径通过的所述受光信号的最大振幅进行调整。
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