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申请/专利权人：上海矽睿科技有限公司
摘要：一种微机械陀螺仪，包括悬挂在附接到衬底上的至少一个锚上的动态质量块。动态质量块包括一第一质量块和一第二质量块；一第一驱动致动器，其被配置成在陀螺仪的旋转振荡模式下在第一方向上驱动第一质量块；以及一第二驱动致动器，其被配置成在陀螺仪的旋转振荡模式中以相反方向驱动第二质量块。
主权项：1.一种微机械陀螺仪，其特征在于，包括：一衬底；一动态质量块，悬挂在附着于所述衬底的至少一个锚上，所述动态质量块包括一第一质量块和一第二质量块；一第一驱动致动器，其被配置成在所述陀螺仪的旋转振荡模式在一个方向上驱动所述第一质量块；以及一第二驱动致动器，其被配置成在所述陀螺仪的旋转振荡模式中以相反方向驱动所述第二质量块。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海矽睿科技有限公司 一种减小偏置漂移的多轴陀螺仪
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