龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：物元半导体技术(青岛)有限公司
摘要：本发明涉及一种晶圆加工工艺中减小翘曲度的方法，包括以下步骤：对晶圆正面进行氧化，形成第一氧化层；在晶圆正面的氧化层上，通过化学气相沉积工艺沉积顶部氮化硅层；在晶圆正面刻蚀凹槽；对晶圆进行高温氧化，使凹槽内形成第二氧化层；在对晶圆进行高温氧化，使凹槽内形成第二氧化层之前，对晶圆背面通过高剂量离子注入法注入氮元素，以使得在对晶圆进行高温氧化时，晶圆背面形成底部氮化硅层。本发明解决了晶圆加工过程中翘曲度的技术问题。
主权项：1.一种晶圆加工工艺中减小翘曲度的方法，其特征在于，包括以下步骤：对晶圆正面进行氧化，形成第一氧化层SiO2；在晶圆正面的第一氧化层上，通过化学气相沉积工艺沉积顶部氮化硅层；在晶圆正面刻蚀凹槽；对晶圆进行高温氧化，使凹槽内形成第二氧化层LOCOS；还包括；在对晶圆进行高温氧化，使凹槽内形成第二氧化层之前，对晶圆背面通过高剂量离子注入法注入氮元素；以使得在对晶圆进行高温氧化时，晶圆背面形成底部氮化硅层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 物元半导体技术(青岛)有限公司 晶圆加工工艺中减小翘曲度的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号