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申请/专利权人：江苏永鼎股份有限公司
摘要：本发明属于刻蚀工艺监管技术领域，具体是一种GaAs刻蚀工艺的检测工艺及检测系统，其中，该检测系统包括智能控制平台、光源模块、高精度摄像模块、图像处理分析模块和显示模块；本发明通过光源模块照亮待检测的GaAs刻蚀产品的表面，高精度摄像模块捕获GaAs刻蚀产品的表面图像，图像处理分析模块通过特定的算法对图像进行精确处理和分析，显示模块对相应GaAs刻蚀产品的处理分析信息进行显示，能够满足GaAs刻蚀工艺检测的高精度和高效率要求，且能够对所有刻蚀设备和产生的所有刻蚀缺陷进行分析并准确划分，有利于管理人员合理作出相应改善措施，有效保证GaAs刻蚀的刻蚀效果，智能化和自动化水平高。
主权项：1.一种GaAs刻蚀工艺的检测系统，其特征在于，包括智能控制平台、光源模块、高精度摄像模块、图像处理分析模块和显示模块；光源模块用于发出稳定、均匀的光源，照亮待检测的GaAs刻蚀产品的表面，高精度摄像模块捕获GaAs刻蚀产品的表面图像，并将所捕获的GaAs刻蚀产品的表面图像经智能控制平台发送至图像处理分析模块；图像处理分析模块接收高精度摄像模块所捕获的GaAs刻蚀产品的表面图像，并通过深度测量算法和形貌识别算法对图像进行精确处理和分析，提取出刻蚀深度和刻蚀形貌参数，并将相应处理分析信息经智能控制平台发送至显示模块，显示模块对相应GaAs刻蚀产品的处理分析信息进行显示；图像处理分析模块的具体运行过程包括：接收到图像采集模块发送的GaAs刻蚀产品的表面图像，对表面图像进行预处理；利用图像处理算法对预处理后的图像进行特征提取，包括边缘检测、阈值分割和形态学分析，识别出图像中GaAs刻蚀产品中刻蚀区域的边界，并初步确定刻蚀的深度和形貌特征；采用深度测量算法，基于光学原理并通过计算图像中不同像素之间的灰度差异或相位差异来推算刻蚀深度；采用形貌识别算法，通过对图像中的纹理和形状特征进行提取和比较，识别出刻蚀区域的形貌特征；将所提取刻蚀深度和刻蚀形貌的关键参数进行整理和输出，以数值或图像的形式发送至显示模块进行展示。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏永鼎股份有限公司 一种GaAs刻蚀工艺的检测工艺及检测系统
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