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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明提供了一种易碎管件的固定组件，包括：支撑件和限位件；所述限位件固定在所述支撑件上，且二者形成有容纳所述易碎管件的管凸台并在所述易碎管件的轴向和径向上进行限位的空间，用于防止所述易碎管件倾倒。本发明还提供一种包括上述易碎管件的固定组件的半导体加工设备，可以同时提高工艺质量和保证易碎管件的安全。
主权项：1.一种易碎管件的固定组件，其特征在于，所述易碎管件的固定组件包括支撑件和限位件；其中，所述限位件固定在所述支撑件上，且二者形成有容纳所述易碎管件的管凸台并在所述易碎管件的轴向和径向上进行限位的空间，用于防止所述易碎管件倾倒。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 易碎管件的固定组件及半导体加工设备
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