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一种LYSO晶片的制造保护方法 

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申请/专利权人:上海新漫晶体材料科技有限公司

摘要:本发明公开了一种LYSO晶片的制造保护方法,包括晶片第1面和第2面粘接固定;晶片第1面和第2面研磨抛光;晶片群第3面和第4面研磨抛光;晶体群二型保护片固定;小晶体群切割;晶片群第3面3和第4面4研磨抛光;小晶体群的第5面和第6面进行研磨抛光;保护片脱离等步骤,最终的小晶体群的尺寸为18.1×2.76×2.76mm;并将一型保护片和二型保护片拆除;最终的LYSO晶片;本发明采用了LYSO晶片的制造方法,尤其在小截面的LYSO晶片的制造方面,减少了发生崩边等问题,提升了晶片的质量,降低了加工成本使得LYSO晶片在上述的研磨时晶片可以得到有效保护,降低了成本。

主权项:1.一种LYSO晶片的制造保护方法,其特征在于,包括以下的步骤:步骤S10:晶片第1面和第2面粘接固定:先将切割后尺寸为长为46.5mm-46.6mm,高为18.6mm-18.8mm,宽为2.9mm-2.92mm;单晶片的第1面和第2面研磨抛光,将经过第一次研磨抛光的晶片第1面和第2面用UV紫外固化胶在紫外装置下粘接,然后以10片一批次沿第1面和第2面将单晶片粘接固定,最外两侧粘接一型保护片,得到晶体群;步骤S20:晶片第1面和第2面研磨抛光:将步骤S10中得到的晶片群,在双面研磨机粗研磨,研磨液为金刚砂,粗磨厚度至2.81mm;然后放置在精抛光机抛光,抛光液为CeO2,抛光尺寸至2.76mm±0.01mm;步骤S30:晶片群第3面和第4面研磨抛光:将步骤S20中得到的晶片群翻转,再将晶片群第3面和第4面,在双面研磨机粗研磨,研磨液为金刚砂;然后放置在精抛光机抛光,抛光液为CeO2,抛光至高度为18.10mm±0.01mm;步骤S40:晶体群二型保护片固定:将S30中得到的晶体群的最外侧晶片的第3面和第4面与二型保护片用UV紫外固化胶在紫外装置下粘接固定;步骤S50:切割:将步骤S40中的晶体群用内圆切割机沿第3面和第4面切割加工,切削厚度2.9mm;得到切割后的小晶体群;步骤S60:晶片群第5面和第6面研磨抛光:将步骤S50中得到的小晶体群的第5面和第6面进行研磨抛光,在双面研磨机粗研磨,研磨液为金刚砂;然后放置在精抛光机抛光,抛光液为CeO2,最终的小晶体群的尺寸:长度为18.1mm-18.11mm,高度为2.76-2.77mm,宽度为2.76mm-2.77mm;步骤S70:保护片脱离:将一型保护片和二型保护片,经加热后与晶片脱离,然后酒精擦拭小晶体群,将紫外固化胶擦拭掉,得到最终的LYSO晶片。

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权利要求:

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