龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京航空航天大学
摘要：本发明提供一种HiPIMS系统及减小HiPIMS放电电流延迟的方法，HiPIMS系统，包括真空室和电源，所述真空室包括阴极靶，所述电源在电源正极输出端具有电感，在阴极靶与阳极之间并联一个电容，该电容与所述电感形成LC串联振荡电路，利用LC振荡产生的高电压，实现气体快速击穿。本发明在不需要更改HiPIMS电源及额外的配置的情况下，利用辅助电路振荡实现快速的HiPIMS气体击穿放电，增加了脉冲期间向等离子体中的输入能量。
主权项：1.一种HiPIMS系统，包括真空室和电源，所述真空室包括阴极靶，所述电源在电源正极输出端具有电感，在阴极靶与阳极之间并联一个电容，该电容与所述电感形成LC串联振荡电路，利用LC振荡产生的高电压，实现气体快速击穿；其中，在高压快速击穿气体时，高电压维持的时间范围为0.01～300μs；在高电压不能快速击穿气体时，高电压维持的时间与电流延迟的时间相同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京航空航天大学 HiPIMS系统及减小HiPIMS放电电流延迟的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号