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申请/专利权人：国网安徽省电力有限公司电力科学研究院;国网安徽省电力有限公司;东南大学;国网安徽省电力有限公司超高压分公司;南京南瑞继保工程技术有限公司

摘要：本发明公开了基于TCAD的UHVDC换流阀晶闸管建模方法及装置，所述方法包括：在TCAD集成的SDE工具中对晶闸管进行几何结构建模；在SDE工具中设置晶闸管模型的电极接触面及接触材质；在SDE中对晶闸管模型先施加低浓度N型掺杂，再施加高斯掺杂叠加；在SDE中对模型进行网格划分；在Sdevice中声明物理参数模型描述物理过程；在Sdevice中使用准静态扫描仿真验证模型的静态阻断特性；在Sdevice中搭建脉冲测试电路，使用动态仿真验证模型在门级电流脉冲下动态通断特性；本发明的优点在于：提供基于TCAD的UHVDC换流阀晶闸管建模方法，实现对换流站内的晶闸管监测。

主权项：1.基于TCAD的UHVDC换流阀晶闸管建模方法，其特征在于，所述方法包括：步骤一：在TCAD集成的SDE工具中对晶闸管进行几何结构建模；步骤二：在SDE工具中设置晶闸管模型的电极接触面及接触材质；步骤三：在SDE中对晶闸管模型先施加低浓度N型掺杂，再施加高斯掺杂叠加，完成阳极区、门极区、阴极区的划分；步骤四：在SDE中对模型进行网格划分；步骤五：在Sdevice中声明物理参数模型描述物理过程；步骤六：在Sdevice中使用准静态扫描仿真验证模型的静态阻断特性，若静态阻断特性正确则进入下一步骤，否则返回步骤三，降低N-漂移区掺杂浓度及其他区域的掺杂深度，或者增大步骤一中的整体器件尺寸；步骤七：在Sdevice中搭建脉冲测试电路，使用动态仿真验证模型在门级电流脉冲下动态通断特性，若动态通断特征正确则完成UHVDC晶闸管建模，否则返回步骤三调整阳极区、门极区的掺杂浓度或阳极区、门极区的掺杂范围。

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