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申请/专利权人：海目星激光科技集团股份有限公司
摘要：本申请公开一种晶圆扩膜机构，涉及晶圆加工技术领域，其包括膜材吸附平台以及至少四个夹持拉伸模组，且膜材吸附平台的X轴正方向的一侧、X轴负方向的一侧、Y轴正方向的一侧以及Y轴负方向的一侧均至少设置有一个夹持拉伸模组，且每个夹持拉伸模组均可在所在的方位夹持膜材吸附平台上的膜材并沿X轴正方向、X轴负方向、Y轴正方向或Y轴负方向拉伸膜材。本技术方案，其可自动实现晶圆扩膜操作的同时，可根据需求去控制扩晶的间距，以及保证芯片在膜材上整齐排布。
主权项：1.一种晶圆扩膜机构，其特征在于，包括膜材吸附平台以及至少四个夹持拉伸模组；至少一个所述夹持拉伸模组设置在所述膜材吸附平台的X轴正方向的一侧，且均可在所在的方位夹持所述膜材吸附平台上的膜材并沿所述X轴正方向拉伸所述膜材；至少一个所述夹持拉伸模组设置在所述膜材吸附平台的X轴负方向的一侧，且均可在所在的方位夹持所述膜材吸附平台上的膜材并沿所述X轴负方向拉伸所述膜材；至少一个所述夹持拉伸模组设置在所述膜材吸附平台的Y轴正方向的一侧，且均可在所在的方位夹持所述膜材吸附平台上的膜材并沿所述Y轴正方向拉伸所述膜材；至少一个所述夹持拉伸模组设置在所述膜材吸附平台的Y轴负方向的一侧，且均可在所在的方位夹持所述膜材吸附平台上的膜材并沿所述Y轴负方向拉伸所述膜材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 海目星激光科技集团股份有限公司 晶圆扩膜机构
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