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申请/专利权人：江苏西米半导体有限公司
摘要：本发明涉及一种晶圆片脱蜡设备及晶圆片脱蜡方法，属于半导体技术领域，包括脱蜡槽体及设置于脱蜡槽体上的晶圆片分离机构，脱蜡槽体内设置有超声波发生器、加热管以及能够承载陶瓷盘的承载座，晶圆片分离机构包括纵向滑轨、纵向驱动电机、纵向滑座、横向滑轨、横向驱动电机、横向滑座、旋转气缸、旋转座、升降滑轨、柔性吸盘、第二升降气缸、敲击锤及第三升降气缸。本发明通过对陶瓷盘及晶圆片加热的同时，采用超声波振动、配合敲击锤敲击以及柔性吸盘拉拔的方法，能够将晶圆片与陶瓷盘分离，并脱去陶瓷盘表面的蜡，不会损伤晶圆片，从而大大提高了晶圆片的良品率，保证了加工效率及产品质量。
主权项：1.一种晶圆片脱蜡设备，其特征在于：包括脱蜡槽体及设置于脱蜡槽体上的晶圆片分离机构；所述脱蜡槽体内设置有超声波发生器、加热管以及能够承载陶瓷盘的承载座，所述承载座与第一升降气缸相连并能够实现上下升降；所述晶圆片分离机构包括纵向滑轨、纵向驱动电机、纵向滑座、横向滑轨、横向驱动电机、横向滑座、旋转气缸、旋转座、升降滑轨、柔性吸盘、第二升降气缸、敲击锤及第三升降气缸，所述纵向滑轨固定于脱蜡槽体上，所述纵向滑座滑动连接于纵向滑轨上并与纵向驱动电机相连，纵向驱动电机能够驱动纵向滑座前后移动，所述横向滑轨固定于纵向滑座上，所述横向滑座滑动连接于横向滑轨上并与横向驱动电机相连，横向驱动电机能够驱动横向滑座左右移动，所述旋转气缸固定于横向滑座上并与旋转座相连，旋转气缸能够驱动旋转座轴向旋转，所述升降滑轨固定于旋转座上，所述柔性吸盘、敲击锤分别滑动连接于升降滑轨上且相对设置，第二升降气缸与柔性吸盘相连并能够驱动柔性吸盘上下升降，第三升降气缸与敲击锤相连并能够驱动敲击锤上下升降。
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权利要求：
百度查询： 江苏西米半导体有限公司 晶圆片脱蜡设备及晶圆片脱蜡方法
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