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申请/专利权人：北海驭曜科技有限公司
摘要：本申请公开了晶圆组件的控制方法及晶圆组件。该控制方法包括：根据IMU传感器的第一历史数据获取晶圆组件的历史动作、第一历史速度，以及根据IMU传感器的预测数据获取预测动作；对比学习历史动作和预测动作，得到对比结果；根据第一历史速度和历史动作得到预测速度；根据图像传感器的第二历史数据和第一历史数据得到第二历史速度；利用预测速度和第二历史速度进行策略更新；结合更新后的策略和对比结果控制晶圆组件移动。通过上述方式，解决芯片固晶精度差，定位精度差，电机使用寿命短等问题。
主权项：1.一种晶圆组件的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：根据IMU传感器的第一历史数据获取所述晶圆组件的历史动作、第一历史速度，以及根据所述IMU传感器的预测数据获取预测动作；对比学习所述历史动作和所述预测动作，得到对比结果；根据所述第一历史速度和所述历史动作得到预测速度；根据图像传感器的第二历史数据和所述第一历史数据得到第二历史速度；利用所述预测速度和所述第二历史速度进行策略更新；结合更新后的策略和所述对比结果控制所述晶圆组件移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北海驭曜科技有限公司 晶圆组件的控制方法及晶圆组件
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