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申请/专利权人：中国科学院声学研究所
摘要：本发明涉及结冰传感器领域，具体涉及一种基于乐甫波的结冰传感器件及系统，包括：含硅化物保护层5、PDMS微流控芯片和芯片封装围挡；其中，含硅化物保护层5刻套在所述波导层2上方，还位于所述输入换能器3和输出换能器4之间；PDMS微流控芯片的四周边缘处与所述含硅化物保护层5键合；并利用所述芯片封装围挡对所述PDMS微流控芯片进行封装；所述PDMS微流控芯片与所述芯片封装围挡共同形成PDMS储水腔6。本发明设置有PDMS储水腔6，实现了对水的储存，防止了水泄露引起电极短路；采用光刻技术，在传输路径上套刻含硅化合物薄层5，便于与PDMS储水腔6键合，以防止水泄露到周围叉指电极上。
主权项：1.一种基于乐甫波的结冰传感器件，包括：压电基片1、波导层2、输入换能器3和输出换能器4、金属封装管壳7和透水膜8，其特征在于，所述一种基于乐甫波的结冰传感器件还包括：含硅化物保护层5、PDMS微流控芯片和芯片封装围挡；其中，所述含硅化物保护层5刻套在所述波导层2上方，还位于所述输入换能器3和输出换能器4之间；所述含硅化物保护层5为矩形，并且中间还设有开口；所述PDMS微流控芯片的四周边缘处与所述含硅化物保护层5键合；并利用所述芯片封装围挡对所述PDMS微流控芯片进行封装；所述PDMS微流控芯片与所述芯片封装围挡共同形成PDMS储水腔6；其中，所述芯片封装围挡为由竖直隔板组成的矩形框，所述芯片封装围挡的下边缘与所述波导层2键合，所述芯片封装围挡的上边缘与所述金属封装管壳7的封装管帽连接；所述金属封装管壳7封装管帽在PDMS储水腔6对应位置设有开口；所述透水膜8设置于所述金属封装管壳7开口处。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院声学研究所 一种基于乐甫波的结冰传感器件及系统
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