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申请/专利权人：深圳中科精工科技有限公司
摘要：本实用新型公开了晶圆圆心定位装置，涉及半导体技术领域，该晶圆圆心定位装置，包括放置架，所述放置架的上表面固定连接有连接柱，连接柱的上端固定连接长板，长板的表面开设有贯穿长板表面的收纳槽，放置架的上表面开设有移动槽，移动槽的内部设置有对中机构，收纳槽的内壁开设有转动槽，转动槽的内壁滑动连接有圆板，通过对中机构的设置，使操作人员只需要对转动转杆就可以完成晶圆圆心的定位，降低了晶圆圆心定位的难度，提高了装置的实用性，同时装置不需要更换夹爪就可以实现对不同尺寸晶圆的圆心进行定位，提高了操作人员的工作效率，同时能够使操作人员能够快速上手，进而扩大了装置的适用范围，提高了装置的适用性。
主权项：1.晶圆圆心定位装置，其特征在于：包括放置架1，所述放置架1的上表面固定连接有连接柱16，连接柱16的上端固定连接长板2，长板2的表面开设有贯穿长板2表面的收纳槽3，放置架1的上表面开设有移动槽7，移动槽7的内部设置有对中机构，收纳槽3的内壁开设有转动槽13，转动槽13的内壁滑动连接有圆板14，圆板14的底部固定连接有液压伸缩杆15，液压伸缩杆15固定连接在放置架1的内部。
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