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一种集成电路测试中site的管控方法及系统 

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申请/专利权人:北京确安科技股份有限公司

摘要:本发明公开了一种集成电路测试中site的管控方法及系统,涉及集成电路领域。该方法包括:步骤1,获取bin值排序文件;步骤2,统计集成电路并行测试中每个bin值在不同site下出现的个数,生成统计表;步骤3,根据所述bin值排序文件,对统计表中不符合要求的数据进行剔除,生成优化后的统计表;步骤4,根据优化后的统计表计算bin值百分比;步骤5,根据所述bin值百分比判断site是否可控。本发明能够解决统计百分比时仍然以site总Die数或晶圆总Die数作为基数计算某个bin的百分比,则会导致统计数据失真的问题,达到减少site间差误判漏判问题,提高了生产管控能力,及时发现测试过程趋势性问题,避免了客户损失的效果。

主权项:1.一种集成电路测试中site的管控方法,其特征在于,包括:步骤1,获取bin值排序文件;步骤2,统计集成电路并行测试中每个bin值在不同site下出现的个数,生成统计表;步骤3,根据所述bin值排序文件,对统计表中不符合要求的数据进行剔除,生成优化后的统计表;步骤4,根据优化后的统计表计算bin值百分比;步骤5,根据所述bin值百分比判断site是否可控;步骤2具体为:统计每个bin值在不同site间出现的个数,生成第一数据,统计每个site下的不同bin值的个数,生成第二数据,根据所述第一数据及所述第二数据生成统计表;步骤3具体为:根据所述bin值排序文件,依次对每一个bin值进行测试,当测试结果为错误时,从发生错误的bin值的第一数据中删除该bin值之前的所有测试结果为错误的bin值的第一数据,得到第三数据,根据所述第三数据生成优化后的统计表;步骤5具体为:根据所述bin值百分比,计算site间的差值,将差值与阈值进行比较,若在范围内,则,site可控,bin值正常,若不在范围内,则,site不可控,bin值异常。

全文数据:

权利要求:

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