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申请/专利权人:科睿斯半导体科技(东阳)有限公司
摘要:本发明公开了一种埋磁式ABF线路基板增层制作方法,包括以下步骤:导通孔层;内层线路生成;介质层压合;内埋腔体制做;磁性组件置入;通过压膜热压工艺,将ABF干膜贴附于上ABF介质层的上表面上;使用Plasma电浆处理设备,作用在ABF干膜上,使ABF干膜的上表面低于或对齐于磁性组件的上表面;镭射;外层线路生成。本发明在上ABF介质层的表面上增加了ABF干膜,并通过Plasma电浆处理设备作用在ABF干膜上,使磁性组件露出,使磁性组件可以直接与线路连接,增加了信号的传输效率,并且降低了孔对位偏移的风险。
主权项:1.一种埋磁式ABF线路基板增层制作方法,其特征在于,包括以下步骤:一、导通孔层:取一BT基板作为基材层,基材层包含上贴附铜层和下贴附铜层,通过机械或镭射加工工艺产生导通孔;二、内层线路生成:通过线路减层方法产生上层线路和下层线路;三、介质层压合:通过热压工艺,将ABF介质材料贴附于上层线路和下层线路的表面,形成上ABF介质层和下ABF介质层;四、内埋腔体制做;五、磁性组件置入:将客户提供的磁性组件放入内埋腔体中并保护固定;六、通过压膜热压工艺,将ABF干膜贴附于上ABF介质层的上表面上;七、使用Plasma电浆处理设备,作用在ABF干膜上,使ABF干膜的上表面低于或对齐于磁性组件的上表面;八、镭射:分别对ABF干膜和下ABF介质层进行激光镭射,形成镭射孔;九、外层线路生成:通过线路增层方法产生上线路铜层和下线路铜层。
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