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摘要：本实用新型公开了一种新的立式炉主腔体进货出货区域进气排气系统，包括立式炉体、进气侧风门以及排风机构，立式炉体的一侧内壁固定连接有进气侧风门，立式炉体的另一侧内壁固定连接有排风机构，排风机构包括导流栅格板、排风动力风扇、排风流道以及排风口，导流栅格板与进气侧风门相对分布且与立式炉体内壁固定连接，导流栅格板的内壁固定连接有导风盒，导风盒的内部固定连接有排风动力风扇，导风盒与排风流道相连通，排风口固定连接在排风流道的末端。本实用新型通过在立式炉体的内部固定连接排风机构，方便配合进气侧风门对气体进行统一收集、排放，保证整个主腔体进货出货区域内部气体排放过程中可实现平流的目的，避免对晶圆生产造成影响。
主权项：1.一种新的立式炉主腔体进货出货区域进气排气系统，包括立式炉体1、进气侧风门2以及排风机构3，其特征在于：所述立式炉体1的一侧内壁固定连接有进气侧风门2，所述立式炉体1的另一侧内壁固定连接有排风机构3，所述排风机构3包括导流栅格板4、排风动力风扇5、排风流道6以及排风口7，所述导流栅格板4与进气侧风门2相对分布且与立式炉体1内壁固定连接，所述导流栅格板4的内壁固定连接有导风盒8，所述导风盒8的内部固定连接有排风动力风扇5，所述导风盒8与排风流道6相连通，所述排风口7固定连接在排风流道6的末端。
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百度查询： 上海至纯半导体设备有限公司 一种新的立式炉主腔体进货出货区域进气排气系统
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