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申请/专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置，包括第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元、拨片、压杆、支撑架和固定单元；支撑架包括横向设置的悬臂，第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元均安装在悬臂上，第二驱动单元设置在第一驱动单元和第三驱动单元之间；拨片包括第一连杆和第二连杆，第一连杆的一端与第一驱动单元连接，第一连杆的另一端与第二连杆的一端连接；第二连杆的一端还与第二驱动单元连接；拨片以第二连杆的一端为旋转中心可旋转；压杆的一端与第三驱动单元连接，另一端向固定单元的方向延伸。本装置不会造成顶部法兰的卡扣容易损坏，顶部法兰被锤子敲击的接触点容易破损，或者人员手部容易受伤的问题。
主权项：1.一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置，其特征在于，包括第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元、拨片、压杆、支撑架和固定前开式晶圆出货盒的固定单元；所述支撑架包括横向设置的悬臂，所述第一驱动单元、所述第二驱动单元和所述第三驱动单元均安装在所述悬臂上，所述第二驱动单元设置在所述第一驱动单元和所述第三驱动单元之间；所述拨片包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的一端与所述第一驱动单元连接，所述第一连杆的另一端与所述第二连杆的一端连接，所述第二连杆的另一端向所述固定单元的方向延伸；所述第二连杆的一端还与所述第二驱动单元连接；所述拨片以所述第二连杆的一端为旋转中心可旋转；所述压杆的一端与所述第三驱动单元连接，另一端向所述固定单元的方向延伸；所述固定单元设置在所述悬臂的下方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥晶合集成电路股份有限公司 一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置
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