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申请/专利权人：湖南大学
摘要：一种面向曼哈顿版图电子束光刻能量沉积密度分布计算的高校方法。本发明是一种基于版图裂解的分层电子束光刻邻近效应校正版图能量沉积计算方法。本方法通过将原始版图裂解为不相交矩形，在保证精度的前提下，分层计算电子束光刻邻近效应能量沉积，极大的降低了电子束光刻邻近效应校正过程中对计算资源的需求，最终提高电子束光刻邻近效应校正效率。本发明共分为五个步骤：步骤S1曼哈顿曝光版图读入；步骤S2裂解曼哈顿版图为矩形；步骤S3分层计算电子束光刻能量沉积密度分布，电子束光刻能量沉积密度分布分为电子束光刻前散射能量沉积密度分布与电子束光刻背散射能量沉积密度分布的和；步骤S4显影与测量均值误差；步骤S5更新矩形曝光剂量。
主权项：1.一种面向曼哈顿版图电子束光刻能量沉积密度分布计算的高效方法，其特征在于包括以下步骤：步骤S1，曼哈顿曝光版图读入；步骤S2，裂解曼哈顿版图为矩形；步骤S3，分层计算电子束光刻能量沉积密度分布；步骤S4，显影与测量均值误差；步骤S5，更新矩形曝光剂量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南大学 一种面向曼哈顿版图电子束光刻能量沉积密度分布计算的高效方法
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