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申请/专利权人：浙江大学温州研究院
摘要：本发明公开了一种提高纳米金刚石薄膜中SiV色心光致发光强度的方法，可快速大幅提高纳米金刚石的光致发光强度。本发明的工艺简单、成本较低，对于提高纳米金刚石中SiV色心光致发光强度有重要价值。
主权项：1.一种提高纳米金刚石薄膜中SiV色心光致发光强度的方法，其特征在于所述方法为：S1：单晶硅片经金刚石微粉种晶，得到种晶的硅片；所述种晶的硅片以丙酮为碳源、以碳化的钽丝为热源进行热丝化学气相沉积，得到纳米金刚石薄膜；所述的纳米金刚石薄膜在空气氛围中、经550-650℃热氧化处理，得到具有SiV发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜；S2：将步骤S1所述的具有SiV发光的单颗粒层纳米金刚石薄膜浸没于5～8％的NaOH水溶液中，80～100℃水浴加热处理2～6min，所得薄膜经后处理，得到SiV色心光致发光强度加强的纳米金刚石薄膜。
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权利要求：
百度查询： 浙江大学温州研究院 一种提高纳米金刚石薄膜中SiV色心光致发光强度的方法
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