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申请/专利权人：安徽光智科技有限公司
摘要：本申请公开了一种镀膜白点改善方法，涉及镀膜技术领域，应用于镀膜设备，镀膜设备包括真空腔室、设置于真空腔室中且用于带动待镀膜样品运动的装载架以及用于对真空腔室中的待镀膜样品进行镀膜的磁过滤阴极真空电弧源。在阴极过滤管道中增加固定挡板，利用挡板中的通孔来限制等离子体运动区域，使得等离子体运动区域集中在待镀样品；而且调整镀膜工艺参数，使得装载架带动装载盘以预设旋转速度绕水平转轴进行转动，并整体以预设偏转角度绕竖直转轴往复转动，增加待镀膜样品表面等离子体的均匀程度，提高了镀膜膜层的均匀一致性，有效解决了待镀膜样品表面白色亮点的出现，提高产品合格率，增加镀膜模仁产品在市场上的竞争力。
主权项：1.一种镀膜白点改善方法，其特征在于，应用于镀膜设备，所述镀膜设备包括真空腔室、设置于真空腔室中且用于带动待镀膜样品运动的装载架3以及用于对所述真空腔室中的待镀膜样品进行镀膜的磁过滤阴极真空电弧源，包括步骤：在磁过滤阴极真空电弧源的阴极过滤管道中固定设置挡板1，其中所述挡板1的中部具有通孔11；将待镀膜样品置于装载盘4上，并装于所述装载架3上；调整镀膜工艺参数，使得所述装载架3带动所述装载盘4以预设旋转速度绕水平转轴进行转动，并整体以预设偏转角度绕竖直转轴往复转动；启动所述磁过滤阴极真空电弧源对所述待镀膜样品进行镀膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽光智科技有限公司 一种镀膜白点改善方法
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