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申请/专利权人：浙江瞻芯电子科技有限公司
摘要：提供了一种防止供应泵憋压的化学品输送柜，其包括原料桶、供应泵和过滤器，化学品输送柜还包括回流流路，所述回流流路包括回流管道和回流阀。所述原料桶、所述供应泵和所述过滤器通过管道依次连接。所述回流管道连接所述原料桶和所述过滤器的下游管道。所述回流阀设置于所述回流管道，所述回流阀能够基于所述化学品输送柜的实际供应压力开启或关闭。
主权项：1.一种防止供应泵憋压的化学品输送柜，其包括原料桶、供应泵和过滤器，其特征在于，化学品输送柜还包括回流流路，所述回流流路包括回流管道和回流阀，所述原料桶、所述供应泵和所述过滤器通过管道依次连接，所述回流管道连接所述原料桶和所述过滤器的下游管道，所述回流阀设置于所述回流管道，所述回流阀能够基于所述化学品输送柜的实际供应压力开启或关闭。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江瞻芯电子科技有限公司 防止供应泵憋压的化学品输送柜
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