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申请/专利权人：物元半导体技术(青岛)有限公司
摘要：本发明设计一种化学品供应系统及控制方法，该系统包括：存储装置、喷洒装置和控制终端；其中，存储装置分别通过第一管路、第二管路和喷洒装置连通，以向喷洒装置供给或回收化学品；第一管路和第二管路中均设有过滤装置；喷洒装置包括化学品腔室、第一阀门、第二阀门和喷嘴；第一阀门设置在化学品腔室内；第一阀门关闭时，将化学品腔室分隔为第一腔室和第二腔室；第二阀门设置在第一腔腔室与第二管路的连接处；控制终端与第一阀门、第二阀门均连接，以控制阀门的开关。本发明通过回收喷洒装置中的化学品减少了非工艺期间的化学品消耗，同时，通过设置冗余的过滤装置确保了过滤的有效性，提高了光刻显影工艺的稳定性和产品的质量。
主权项：1.一种化学品供应系统，其特征在于，包括存储装置、第一过滤装置、喷洒装置、第二过滤装置和控制终端；所述存储装置中存储有化学品，所述存储装置的化学品出口端与所述喷洒装置的化学品入口端通过第一管路连通，以向所述喷洒装置供给化学品；所述第一过滤装置设置在所述存储装置中或所述第一管路中；所述喷洒装置用于喷洒化学品，包括化学品腔室、第一阀门和喷嘴；所述第一阀门设置在所述化学品腔室内部；所述第一阀门关闭时，将所述化学品腔室分隔为第一腔室和第二腔室，所述第一阀门打开时，所述第一腔室和所述第二腔室连通；所述喷嘴与所述第二腔室连通；所述喷洒装置的化学品入口端和化学品出口端均位于所述第一腔室内，且所述喷洒装置的化学品出口端设置有第二阀门；所述喷洒装置的化学品出口端与所述存储装置的化学品入口端通过第二管路连通，以将所述化学品腔室中的化学品回收至所述存储装置；所述第二过滤装置设置在所述第二管路中；所述控制终端与所述第一阀门、所述第二阀门均通信连接，用于光刻显影工艺运行时，控制所述第一阀门打开、所述第二阀门关闭，以及，在光刻显影工艺停止运行时，控制所述第一阀门关闭、所述第二阀门打开。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 物元半导体技术(青岛)有限公司 一种化学品供应系统及控制方法
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