龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：芯材芯(苏州)半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及MRC磁控溅射台技术领域，尤其涉及一种具有高精度高自动化的MRC磁控溅射台，包括腔体支架，腔体支架外部设置有主腔腔体安装板，腔体支架外部外部固定连接有上下料底座，上下料底座外部设置有上下料机构，上下料机构包括对称设置在上下料底座外部的放置台，上下料底座外部滑动连接有控制基座，控制基座外部固定连接有控料电机，本发明中，通过上下料机构实现有效的上料加工，在大规模制造中，有很好的一致性和重复性，通过对中机构避免晶圆加工过程中由于上料位置出现偏差而导致加工失败，同时设备可以结合自动化控制系统提高设备利用率和生产速度，减少人工干预和操作时间，提高生产效率壁。
主权项：1.一种具有高精度高自动化的MRC磁控溅射台，包括腔体支架1，其特征在于，所述腔体支架1外部设置有主腔腔体安装板3，所述腔体支架1外部固定连接有上下料底座2，所述上下料底座2外部设置有上下料机构，所述上下料机构包括对称设置在上下料底座2外部的放置台4，所述上下料底座2外部滑动连接有控制基座7，所述控制基座7外部固定连接有控料电机5，所述控料电机5的输出端设置有控制轴6，所述控制轴6外部滑动连接有控料滑块10，所述控料滑块10外部固定连接有转移板8，所述上下料底座2外部设置设置有对中机构，所述对中机构包括设置在上下料底座2外部的对中轴13；所述主腔腔体安装板3外部转动连接有控制底板20，所述控制底板20外部固定连接有控制电机16，所述控制电机16的输出端设置有转移平台21，所述主腔腔体安装板3外部固定连接有控制电机24，所述控制电机24的输出端设置有转动盘37，所述主腔腔体安装板3外部转动连接有主腔腔门39，所述主腔腔门39外部设置有工艺腔40，所述转动盘37外部设置有沉积衬底台41，所述主腔腔体安装板3外部转动连接有盖体25。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯材芯(苏州)半导体科技有限公司 一种具有高精度高自动化的MRC磁控溅射台
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号