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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本发明涉及光学技术领域，具体涉及一种用于抑制ASE及反射光的MOPA激光装置。包括吸收体、种子光源和依次设置的第一放大器系统、第二放大器系统、第一反射镜、λ4相位延迟反射镜、第二反射镜和锡滴，所述第一放大器系统和所述第二放大器系统内均设有薄膜偏振片；λ4相位延迟反射镜的反射面与入射光偏振方向呈45°夹角，用于将线偏振光转为圆偏振激光束；薄膜偏振片用于使P偏振光完全透射，S偏振光完全反射。在保证放大器增益能力不受影响的情况下，有效抑制了MOPA激光系统中的ASE及反射光，同时保证了MOPA系统的稳定性。
主权项：1.一种用于抑制ASE及反射光的MOPA激光装置，其特征在于：包括吸收体9、种子光源1和依次设置的第一放大器系统2、第二放大器系统3、第一反射镜5、λ4相位延迟反射镜6、第二反射镜7和锡滴8，所述第一放大器系统2和所述第二放大器系统3内均设有薄膜偏振片；所述种子光源1用于为激光系统提供信号光；所述第一放大器系统2、第二放大器系统3用于对种子光源1的功率进行放大，以及防止窗口反射自激造成的ASE；所述λ4相位延迟反射镜6的反射面与入射光偏振方向呈45°夹角，用于将线偏振光转为圆偏振激光束；所述第一反射镜5设置于激光传输光路上，用于将P偏振光转变为45°偏振光；所述第二反射镜7用于将激光转折并作用到垂直下落的锡滴8上；所述锡滴8用于与高功率、短脉冲CO2激光相互作用产生等离子体从而辐射出极紫外EUV光；所述吸收体9用于将薄膜偏振片表面反射的S偏振光吸收；所述薄膜偏振片用于使P偏振光完全透射，S偏振光完全反射。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 一种用于抑制ASE及反射光的MOPA激光装置
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