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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：提供一种形成用于光学装置结构的多个光栅的方法。所述方法利用高折射率材料及金属涂层。
主权项：1.一种波导，包含：多个闪耀结构，所述多个闪耀结构包含：光栅材料层，所述光栅材料层包含光栅材料，所述光栅材料具有大于或等于2.0的折射率；和金属涂层，所述金属涂层形成在所述光栅材料层的经图案化表面上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 金属化高指数闪耀光栅耦入器
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