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申请/专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
摘要：本发明公开了一种LPCVD设备在线等离子清洗装置及清洗方法，装置的加热炉体同轴嵌套在石英反应炉外周，石英反应炉的炉口设有炉口门板和炉门，炉门上设有进气孔，炉尾门板上设有抽气管；炉口门板上设有与射频电源组件连接的电极引入插座，炉门上设有相互连接的电极柱和ICP发生器，ICP发生器环绕在石英管进气端的外周，石英管的排气端贯穿炉门；关闭炉门，电极柱插入电极引入插座内，ICP发生器与射频电源组件连接，石英管延伸至石英反应炉内，在石英管内通入氟化物气体，并开启射频电源组件，在ICP发生器的作用下，氟化物气体形成含氟等离子体，以实现石英反应炉在线清洗。本发明具有结构紧凑、便于维护、清洗效率高等优点。
主权项：1.一种LPCVD设备在线等离子清洗装置，其特征在于，包括：加热炉体1、炉口门板4、石英反应炉5、电极引入插座6、电极柱7、石英管9、炉门、ICP发生器13、炉尾门板18和抽气管19；所述加热炉体1同轴嵌套在石英反应炉5外周，用于对石英反应炉5进行加热，以实现石英反应炉5内进行非晶硅薄膜沉积工艺；所述石英反应炉5的炉口设有炉口门板4和炉门组件，所述炉门组件上设有进气孔，以实现工艺气体输送至石英反应炉5内，所述炉尾门板18上设有与真空泵连接的抽气管19，以用于排出石英反应炉5内的气体；所述炉口门板4上设有与射频电源组件连接的电极引入插座6，所述炉门组件上设有电极柱7和ICP发生器13，所述电极柱7的一端与ICP发生器13连接，所述ICP发生器13环绕在石英管9进气端的外周，石英管9的排气端沿着轴向贯穿炉门组件；当炉门组件开启时，电极柱7与电极引入插座6相互分离；当炉门组件关闭时，电极柱7插入电极引入插座6内，以实现ICP发生器13与射频电源组件连接，且石英管9的排气端延伸至石英反应炉5内，通过向石英管9内通入氟化物气体，并开启射频电源组件，在ICP发生器13的作用下，氟化物气体在石英管9中形成含氟等离子体，并流入石英反应炉5内，与石英反应炉5内壁上的非晶硅进行反应，以实现石英反应炉5在线清洗。
全文数据：
权利要求：
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