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申请/专利权人：深圳市昇维旭技术有限公司
摘要：本公开提供了一种晶圆处理设备、系统及控制方法，设备包括加工机构、晶舟装卸腔室、位于晶舟装卸腔室的晶舟基座、晶圆装卸腔室、位于晶圆装卸腔室的晶圆移载机构、多个隔离腔室、多个晶舟和流转装置，隔离腔室与晶圆装卸腔室之间设有前开关门，与晶舟装卸腔室之间设有后开关门；流转装置用于使晶舟在晶圆装卸腔室与隔离腔室的内部进行流转及还用于使晶舟在晶舟装卸腔室与隔离腔室的内部进行流转；多个隔离腔室包括第一和第二隔离腔室，第一隔离腔室用于容纳经晶圆装卸腔室流转至其内部且装载有待处理晶圆的晶舟，第二隔离腔室用于容纳经晶舟装卸腔室流转至其内部且装载有已处理晶圆的晶舟。该方案在提高生产效率的同时，还可降低晶圆污染。
主权项：1.一种晶圆处理设备，其特征在于，包括：加工区，包括至少一加工机构；晶圆装卸区，包括晶圆装卸腔室以及位于所述晶圆装卸腔室内的晶圆移载机构，所述晶圆移载机构用于使晶圆盒内的待处理晶圆转移至晶舟上或使晶舟上的已处理晶圆转移至晶圆盒内；晶舟装卸区，包括晶舟装卸腔室以及位于所述晶舟装卸腔室内的晶舟基座，所述晶舟基座用于承载晶舟及实现将晶舟送入或送出所述加工机构；隔离区，位于所述晶舟装卸区和所述晶圆装卸区之间，包括多个相互独立的隔离腔室，每个所述隔离腔室与所述晶圆装卸腔室之间设有前开关门，所述前开关门能够打开或关闭以实现所述隔离腔室与所述晶圆装卸腔室之间的打开或关闭，且每个所述隔离腔室与所述晶舟装卸腔室之间设有后开关门，所述后开关门能够打开或关闭以实现所述隔离腔室与所述晶舟装卸腔室之间的打开或关闭；至少两个晶舟和流转装置，所述流转装置用于使所述晶舟在所述晶圆装卸腔室与所述隔离腔室的内部进行流转以及还用于使晶舟在所述晶舟装卸腔室与所述隔离腔室的内部进行流转；其中，多个所述隔离腔室包括第一隔离腔室和第二隔离腔室，所述第一隔离腔室用于容纳经所述晶圆装卸腔室流转至其内部且装载有待处理晶圆的晶舟，所述第二隔离腔室用于容纳经所述晶舟装卸腔室流转至其内部且装载有已处理晶圆的晶舟。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市昇维旭技术有限公司 晶圆处理设备、系统及应用于晶圆处理设备的控制方法
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