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气刀以及具备该气刀的抗蚀剂剥离装置 

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申请/专利权人:夏普显示科技株式会社

摘要:气刀50B包括:气刀主体51;吹出口52,其呈狭缝状形成于气刀主体51,并吹出送入的气体;风路53,其形成于气刀主体51的内部,并将所述送入的气体引导至吹出口52;以及清扫部70,其配置于风路53的内部,并具有头部71、从头部71朝向吹出口52延伸的腿部72和设置于头部71的把手部73。清扫部70设置成沿着吹出口52的长边方向能够移动。

主权项:1.一种气刀,其特征在于,其具备:气刀主体;吹出口,其呈狭缝状形成于所述气刀主体,并吹出送入的气体;风路,其形成于所述气刀主体的内部,并将所述送入的气体引导至所述吹出口;以及清扫部,其至少一部分配置于所述风路的内部,并具有头部、从所述头部向所述吹出口延伸的腿部、以及设置于所述头部的把手部,所述清扫部设置为沿着所述吹出口的长边方向能够移动。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 夏普显示科技株式会社 气刀以及具备该气刀的抗蚀剂剥离装置

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