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申请/专利权人：安徽万维克林精密装备有限公司
摘要：本发明公开了一种基于LoadPort的晶圆片状况检测装置，设置在晶圆FOUP一侧的对射传感器，设置在LoadPort的开门处摆动构件，对射传感器安装在摆动构件上，所述对射传感器远离摆动构件的移动转动连接在晶圆FOUP的一侧，本发明涉及晶圆检测技术领域。该基于LoadPort的晶圆片状况检测装置，利用对射式光学传感器实现了晶圆片的准确定位和识别。装置采用旋转构件和摆动构件设计，实现了传感器自动进出FOUP，减少了人工干预并提升了检测流程的自动化水平。这种自动化检测能够加快检测速度，优化生产效率，并通过简化设备结构降低了复杂性，使得设备更易于维护和操作，为半导体制造过程提供了一个高效、精确且可靠的解决方案。
主权项：1.一种基于LoadPort的晶圆片状况检测装置，其特征在于，包括：设置在晶圆FOUP一侧的对射传感器1，用于结合预设置的上位机，检测分析晶圆FOUP内晶圆片的存在、位置；设置在LoadPort的开门处摆动构件2，用于并带动对射传感器1进入和退出晶圆FOUP的内部空间，其中，对射传感器1安装在摆动构件2上；旋转构件3，用于控制摆动构件2的移动和定位。
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权利要求：
百度查询： 安徽万维克林精密装备有限公司 一种基于LoadPort的晶圆片状况检测装置
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