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申请/专利权人:宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要:本发明涉及一种钨硅合金靶材的镀镍方法,所述镀镍方法包括以下步骤:1将钨硅合金靶材依次进行第一清洗处理、活化处理、第一浸泡热处理和第二浸泡热处理,得到预处理后的靶材;2将步骤1得到的所述预处理后的靶材浸泡在镀镍液中进行镀镍处理,然后依次进行第三浸泡热处理、第四浸泡热处理和干燥处理,得到镀镍后的靶材。本发明提供的镀镍方法能够在钨硅合金表面形成镀镍层,从而提升钨硅合金靶材和背板的结合强度,同时能够避免钨硅合金靶材在加工过程中的开裂问题。
主权项:1.一种钨硅合金靶材的镀镍方法,其特征在于,所述镀镍方法包括以下步骤:1将钨硅合金靶材依次进行第一清洗处理、活化处理、第一浸泡热处理和第二浸泡热处理,得到预处理后的靶材;2将步骤1得到的所述预处理后的靶材浸泡在镀镍液中进行镀镍处理,然后依次进行第三浸泡热处理、第四浸泡热处理和干燥处理,得到镀镍后的靶材。
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权利要求:
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